气体电磁流量计可同时实现热源的产生与温度的测量。当芯片处于工作状态时，在传感器的周边形成稳定的温度场分布。一旦一定质量的气体流过传感器时，气体的流动将破坏该温度场的分布，形成特定的、取决于该气体的质量和速度的温度场分布。

　　微机电系统流量计芯片上的传感器将测量这一变化并把这一变化转换为电信号，由一个专门的电路变送器对此信号进行放大、调理并作线性化处理。由于不同质量的气体对传感器的周边形成稳定的温度场分布所产生的扰动不同，因而能测量气体的质量流量或总流量。

　　气体电磁流量计结构简单，传感器内空无一物，无附加阻力损失坚固耐用抗磨损、可长周期保持足够高的测量精度，结合智能型二次仪表使用，可以用来作为计量考核仪表使用。

　　可对蒸汽、氮气、二氧化碳、氢气等测量的气体进行测量，并且针对该流量计的校准要求在不断增加。由于采用这些气体进行大规模校准的设施并不多，因此采用该测量仪器进行流体校准几乎是常用的选择，且在许多情况下是一种合理的、可替代的选择。如果流动条件可以估算出来，那么就可以在与操作条件不同的条件下对气体流量计进行校准，估算流动条件所采用的参数通常为关于该气体流量计入口直径的雷诺数。